三菱化學(xué)將于近期開始量產(chǎn)結(jié)晶缺陷密度整個表面都分布均勻的2英寸gan底板。2005年4月前后,將以100枚/月的規(guī)模,在該公司筑波事務(wù)所投入生產(chǎn),主要銷給藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光器以及l(fā)ed等廠商。力爭在2005年10月達(dá)到1000枚/月的量產(chǎn)規(guī)模。價格方面,最初預(yù)計在數(shù)十萬日元/枚。
同時,該公司還成功開發(fā)出了可將藍(lán)色光轉(zhuǎn)換成紅色與綠色光的新型熒光材料。過去,大多先使用將藍(lán)色光轉(zhuǎn)換成黃色光的熒光材料,得到“藍(lán)+黃”色光,然后再形成接近于白色的光。但是,假如使用這次的新型熒光材料,就能利用“紅+綠+藍(lán)”3原色形成白色。在白色led廠商中,盡管有的已經(jīng)上市利用這種方法產(chǎn)生白色光的產(chǎn)品,但作為一家材料廠商而開發(fā)成功同類熒光材料則尚屬全球首例。該公司的目標(biāo)是,通過將上述開發(fā)成果有機地結(jié)合起來,使公司成為高亮度白色led領(lǐng)域全球最大的材料廠商。
實現(xiàn)均勻的缺陷密度分布
這次開發(fā)的gan底板,其結(jié)晶缺陷密度約為107個/cm2。從該公司的開發(fā)成果來看,有的甚至號稱達(dá)到了104~107個/cm2,因此新gan底板的缺陷密度也說不上太低。但新底板有一個全球獨一無二的特點、即結(jié)晶缺陷密度在整個底板表面中都是均勻的。
其他公司大都首先在生長gan層時形成條紋狀結(jié)構(gòu),然后再使用橫向選擇生長技術(shù),使結(jié)晶缺陷集中到條紋之間。這樣一來,就會在條紋上形成缺陷非常少的部分。不過,這種方法在底板上形成激光元件時,必須準(zhǔn)確地控制形成位置,以免其發(fā)光部位偏離結(jié)晶缺陷少的部位。因而,不僅生產(chǎn)工藝復(fù)雜,而且還會導(dǎo)致成品率下降等問題。假如結(jié)晶缺陷密度是均勻的,就不再需要這種特殊處理。
此次,該公司利用自主開發(fā)的hvpe法生產(chǎn)底板。不過,在用于生長gan層的母底板材質(zhì)方面,公司僅表示“是普通材質(zhì)”。對于用來形成均勻的gan結(jié)晶的前期處理方法等進(jìn)一步的情況則絲毫未予透露。
另外,該公司目前正在同日本東京電波公司和東北大學(xué)多元物質(zhì)科學(xué)研究所進(jìn)行合作,聯(lián)手進(jìn)行g(shù)an塊狀單結(jié)晶(bulk single crystal)生長技術(shù)的研究。據(jù)稱,這次公布的開發(fā)成果與此同步進(jìn)行,并對此起到了推動作用。